界面新闻记者 | 张熹珑界面新闻裁剪 | 林腾眼镜妹 探花

深圳的半导体少壮，成为2025中国国际半导体开采和材料展（SEMICON China 2025）的焦点。

3月26日-27日，深圳新凯来工业机器有限公司在SEMICON China 2025上发布了5款工艺开采新品，包括外延千里积开采EPI（峨眉山）、原子层千里积开采ALD（阿里山）、物理气相千里积开采PVD（普陀山）、刻蚀开采ETCH（武夷山）、薄膜千里积开采CVD（）。

这家新锐国产半导体开采厂商此前鲜少出头，初次参展便发布了多款新品，招引了大齐参不雅者、业内同业和潜在客户拥堵在展台。

这个“国度队”成员触及半导体装备及零部件、电子制造开采的研发、制造、销售与业绩。天眼查高慢，新凯来工业建设于2022年，其母公司新凯来技巧有限公司则建设于2021年，两家公司的法东谈主均为余海。新凯来技巧由深圳市要紧产业投资集团全资控股，尔后者隶属深圳国资委。

上述新品称呼指向半导体制造工艺中至关进击的技巧节点。如EPI外延层技巧是先进制程和第三代半导体的要害工艺，径直影响芯片性能与可靠性；ALD针对原子级薄膜千里积，是5纳米以下先进制程的中枢装备；CVD化学气相千里积是半导体制造中需求量最大的开采之一，开采需得志从28纳米到5纳米不同制程的薄膜千里积需求。

这些畛域此前由国际龙头主导，新凯来专诚突破固有竞争花式。

国际阛阓上，EPI开采恒久被AMAT、TEL等巨头控制；ALD开采由ASM和TEL主导，市占率整个超60%；在PVD畛域，AMAT占据85%阛阓份额。

行业分析称，新凯来这次展示的高精度薄膜千里积开采采纳私有的响应腔筹算眼镜妹 探花，约略已毕纳米级薄膜均匀性为止，技巧参数已接近国际率先水平。而新一代涂胶显影开采则突破国外技巧控制，在永诀率和产能方面达到业界先进步伐，可得志14纳米及以上制程工艺需求。

更引东谈主注计划是量检测开采。公司此前布告，已完成13类要害量检测家具开发，并在国内逻辑、存储和化合物的主要半导体制造企业运转量产愚弄。

新凯来这次展出的家具涵盖了光学检测、光学量测、PX量测、功率检测等畛域，通过相片和模子的格式展示了光学检测家具岳麗山BFI、光学量测家具天门山IBO、PX量测家具沂蒙山AFM、功率检测家具RATE-CP等。

“量检测是芯片研发和量产中的‘眼睛’，连接集成电路分娩全流程，对工艺纠正、量产爬坡的良率提高和为止齐至关进击。”一位从事传感器制造的东谈主士向界面新闻分析指。

该东谈主士提到，跟着制程演进，集成电路前谈工艺的法子越来越多，检量测进击性日渐突显，主流半导体制程正从28nm、14nm向10nm、7nm发展，需要量检测的永诀率和参数增多，开采的忠良度、准确性、稳固性、费解量也要提高。

举例，28nm技巧节点的工艺法子额外百谈工序，而14nm及以下节点工艺法子将增多至近千谈工序。当晶圆制造工序逾越500谈时，独一保证每沿途工序的良品率齐逾越99.99%，最终的良品率方可逾越95%；当单谈工序的良品率下落至99.98%时，最终总良品率会下落至约90%。

据VLSI数据统计，2023年专家半导体检测和量测开采阛阓畛域达到128.3亿好意思元，在专家半导体制造开采中占比约为13%。其中，中国大陆半导体量测检测开采的阛阓畛域43.6亿好意思元，专家阛阓畛域占比约33.98%，阛阓空间辽远。

但与之酿成反差的是，量检测装备是前谈装备里国产化率最低的装备类别之一。华西证券研报指出，相较于外洋厂商，国内半导体检测和量测开采企业起步较晚，刻下收入体量较小，国产厂商的阛阓份额尚不足5%，但国产化进度仍是运转提速，主要厂商的国内阛阓份额由2019年的0.61%提高至2023年的4.34%。

新凯来的量检测家具可分为两大类：一类是技巧难度较高的光学量检测家具，包括明场颓势检测BFI、暗场颓势检测DFI、名义颓势检测PC等。公司方面默示，这类家具基本完成客户侧考据，2025年投入量产景象。

另一类是国内此前空缺但产线必需的PX（物理和X射线）及功率检测家具，包括原子力显微镜量测AFM、X射线类量测XPS、CP(Chip Probing)测试机等。其中，PX量测家具已投入量产托福，功率检测家具也投入了畛域愚弄。

新凯来的技巧储备从其专利中可见一斑。天眼查高慢，新凯来工业和新凯来技巧有逾越80项发明专利和实用新式，遮蔽光学、材料、工艺为止等要害要津。

本年以来，公布的发明专利就有“反射结构、热放射单位及加热安设”、“加热安设及工艺处理开采”、“工艺腔室及工艺处理开采”、“进气分流器、吹扫结构及工艺腔室”等。2024年11月，新凯来技巧还研发了“静电卡盘及工艺开采”，不绝了晶圆加工中电荷开释速度慢的行业痛点。

现在，新凯来已开发6大类半导体工艺和量检测装备。新凯来量检测开采家具线厚爱东谈主郦舟剑此前默示，“刻下首要不绝先进制程问题，国外工艺节点仍是更率先，咱们也会朝这个地方合手续戮力。”

不外，国内厂商除了技巧上的追逐，也需要在生态上酿成护城河。如AMAT的PVD开采已酿成“开采-工艺-材料”的不绝决议，并与台积电、三星等头部晶圆厂开发数十年协作。

深圳算作中国集成电路产业第三极（仅次于上海、北京），但产业上长于筹算，疏于制造。往日几年，因为国际场面的变化，深圳在半导体制造的产业链上，显现了不少短板，但如今，深圳正通过战术扶合手、产业链整合等格式打造半导体产业集群。

除了新凯来，深圳市要紧产业投资集团部署了多个半导体姿首，典型案例包括中芯深圳建成深圳首条12英寸高端芯片制造产线、华润微电子特质工艺集成电路分娩线、重投天科建成亚洲最大的单体碳化硅材料分娩基地、清廉微电子率先在国内以“VIDM”模式买通第三代半导体全产业链。

深圳也在前年11月布告建成国度第三代半导体技巧改变中心深圳详尽平台，这个平台聚焦第三代半导体畛域器件的研发和中试，以考取四代半导体材料器件前沿扣问。跟着新凯来的开采将在第三代半导体畛域已毕量产，深圳半导体产业链有望从“单点突破”到“系统解围”。